Vakuumofen Funktionsweise

Kapazitive Bestimmung der Verformung einer Elastikmembran

Sollte der Anpressdruck in Ihrer Vakuum-Kammer sicher visualisiert oder nachjustiert werden? In den Messbereichen von atmosphärisch (atm) bis hin zum hohen Vakuum (HV) können Sie mit den Messfühlern aus unserem Sortiment sicher den Luftdruck nachweisen. Fragestellung: Eine fehlerhafte Anzeige des Drucks wird auf dem ATMION®/die Anzeige des Drucks schwankt. A. Wenn der dargestellte Luftdruck wesentlich geringer ist als angenommen, kann eine Verschmutzung ein Anlaß sein.

Fragestellung:Ein gelb-grünes Blinklicht ist abwechselnd. Pendelt der ATMION® zwischen beiden Messarten? Antwortet: Ja, das stimmt. Achtung: Diese Einstellung ist nur im Pirani-Modus möglich. Bei ATMION® blinkt rot. Antwortet: Ja, in diesem Falle muss der Meßkopf ausgetauscht werden. Falsche Druckanzeige im Pirani-Modus. Antworte: Ja, es wird eine Atmosphären- und Vakuumeinstellung** nach jedem Belüftungsvorgang durchgeführt.

Bitte achten Sie nach der De- und Wiedermontage eines ATMION® darauf, dass das Pirani-Messverfahren leicht positionsabhängig ist und eine neue Einstellung vorgenommen werden muss. Fragestellung: Während der Evakuierung liegt der Druck bei ca. 1e-3 Millibar, aber mein Druck in der Kammer ist wesentlich geringer. Antwortet: Nein, der Hauptgrund dafür ist oft ein Mangel an Vakuumbalance. Wie kann ich überprüfen, ob alles im Fühler in Ordnung ist?

Durch die Überprüfung der Stifte auf der Atmosphärenseite können Störungen im Sensorkopf vermieden werden. Damit wird auch geprüft, ob auf der Vakuumseite alles richtig angeschlossen ist. Warum hat die VAC-Anpassung keinen Effekt? Lösung: Gehen Sie dazu in der Menustruktur wie folgt vor: Das Firmwareupdate wurde vor der Fertigstellung beendet. Wenn das Firmwareupdate vor der Fertigstellung abbrach, kann es wiederaufgenommen werden.

Verfahren Sie wie in der Bedienungsanleitung*** und so, als ob das Firmware-Update nicht erfolgt wäre. Wenn das Firmware-Update immer wieder fehlschlägt, kontaktieren Sie Ihren Kundendienstmitarbeiter. Warum zeigt das Gerät den falschen Anpressdruck? A. Wenn der dargestellte Luftdruck wesentlich geringer ist als angenommen, kann eine Verschmutzung ein Anlaß sein.

Abfrage: Das Anzeigefeld des Mobiltelefons zeigt den Hinweis "Err p". Antwortet: In den meisten FÃ?llen gibt es keinen Irrtum, aber der aktuelle Luftdruck in der Kabine ist Ã?ber 1e-2mbar. Was bedeutet die Meldung "Fil br" auf dem Bildschirm des VC3? Es kann ein gebrochener Faden vorhanden sein und der Faden muss ausgetauscht werden.

Nachweis s. "Nachweis eines Fadenbruchs". Wie kann ich einen Fadenbruch überprüfen? Answer:Auf der Atmosphärenseite müssen die Pins B1, B2 und C angeschlossen werden: R < 1 Ohms. Question:Err Ba" wird auf dem Display des Mobiltelefons dargestellt. Möglicherweise ist der elektrische Anschluss einer der beiden Meßsonden an Masse oder unter sich.

Fragen:Ich habe Schwierigkeiten mit der Messung von Druck in tiefem UHV oder XHV? Ein Grund für eine falsche Druckangabe kann das Vorhandensein von Magnetstreufeldern sein, zum Beispiel in der Umgebung von Ionengetter-Pumpen. Die Schirmung gegen diese Bereiche verbessert die Anzeige des Drucks. Warum läuft die Verbindung zwischen MVC-3 und dem MVC-3 nicht? Dies kann mehrere Ursachen haben.

Warum beginnt die Vermessung nicht? Die Zündung kann je nach Druck in der Kammer mehrere Sekunden in Anspruch nehmen. Ich erhalte einen falschen/variablen Druckwert. Bei anderen Gasen als Gasen und Nitrogen sind die Gasartenkorrekturfaktoren zu beachten (siehe Betriebsanleitung). Eine zweite Ursache für eine fehlerhafte Druckangabe ist auch durch die fehlerhafte Anordnung der Magneten möglich.

Außerdem kann ein zu starkes Ausbrennen, das die Magneten schädigt, auch eine fehlerhafte Anzeige des Drucks auslösen. Das Firmwareupdate wurde vor der Fertigstellung beendet. Wenn das Firmwareupdate vor der Fertigstellung abbrach, kann es wiederaufgenommen werden. Verfahren Sie wie in der Bedienungsanleitung*** und so, als ob das Firmwareupdate nicht erfolgt wäre.

Wenn das Firmware-Update immer wieder fehlschlägt, kontaktieren Sie Ihren Kundendienstmitarbeiter. Warum wird ein fehlerhafter Wert für den Druck ausgegeben? Lösung: In der Regel muss der Fühler lediglich kalibriert werden (siehe Bedienungsanleitung). Weiterhin sind die vorgegebene Montagelage und die Beachtung der Umgebungstemperatur (siehe Datenblatt) zu beachten.

Warum wird ein fehlerhafter Messwert ausgegeben? Die Kalibrierung des Sensors sollte in regelmäßigen Abständen erfolgen (siehe Bedienungsanleitung). Fragestellung: Die Darstellung hängt immer an einem gewissen Punkt. Das Triebwerk kann durch Überdruck oder Abnutzung leicht aufhängen. Überschreitet der Überdruck den höchstzulässigen Maximaldruck (siehe Datenblatt), kann auch die mechanische Anlage bleibend beschädigt werden.

Die Funktionsweise basiert auf der Bestimmung der Elastizitätsverformung einer dünnwandigen Membrane (?s), wenn sie auf der einen und auf der anderen Druckseite einem größeren p1 als auf der anderen mit p2 (!) belastet wird (siehe Abbildung). Deshalb wird das Sensorinnere im Bereich von p2 so weit entleert, dass p2 wesentlich kleiner ist als der geringste zu messenden Messdruck im Behälter p1 Dies führt zu einer Gesamtdruckmessung mit unwesentlich geringerem Restdruckfehler p2 Bei Vakuummessgeräten mit kapazitiver Membrane stellt die drucksensitive Membrane eine der Kondensatorelektroden dar.

Durch die Auslenkung ?s, die eine Abhängigkeit von der Differenzdruckdifferenz ist, kommt es zu einer Kapazitätsänderung, die dann unmittelbar messbar ist. Der kleinste messbare Anpressdruck wird durch die Stärke der Membran bestimmt. Ab einem gewissen Temperaturbereich ist die thermische Leitfähigkeit zwar druckproportional, jedoch sind störende Einflüsse wie Wärmefluss, Wärmeabstrahlung, Wärmeableitung über die Kontaktflächen etc. zu erwarten.

Der Grundgedanke eines Pirani-Wärmeverlust-Vakuumsensors ist es, einen Leiter (wie in der Grafik dargestellt) auf eine wesentlich höhere Konstanttemperatur als das umgebende Restgas im Unterdruck zu erwärmen. Auch die tatsächliche Messgrösse, die zur Stabilisierung der Temperaturen benötigte Stromstärke, ist aufgrund der Verhältnismässigkeit der thermischen Leitfähigkeit eines Gasstromes zum Luftdruck drückabhängig.

Die Bezugsspannung ist in der Regel diejenige, die anliegen muss, wenn der Systemdruck weit unter der Messuntergrenze ist. Weil dieser ungefähr druckproportional ist (Hakengesetz), kann mit seiner Hilfe eine direkte Aussagen über den momentanen Luftdruck gemacht werden. Sowohl die Langzeit- und Temperaturbeständigkeit als auch die Genauigkeit sind etwas geringer als bei Vakuummetern mit kapazitiver Membran, jedoch sind die piezoresistiven Vakuummessgeräte wesentlich günstiger.